*HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-CSE

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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：66條

所在地區(qū)：江蘇南通市

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*HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-南通華林科納ChemicalDispenseSystemSystem 南通華林科納半導(dǎo)體-*供液系統(tǒng)適用對(duì)象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、H2O2、IPA等主要用途：本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送，經(jīng)管道至設(shè)備

詳細(xì)介紹

*HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-南通華林科納

Chemical Dispense System System

南通華林科納半導(dǎo)體-*供液系統(tǒng) 適用對(duì)象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等

主要用途：本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送，經(jīng)管道至設(shè)備；具有自動(dòng)化程度高，配比精確，操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)；具有良好的耐腐蝕性能。
控制模式：手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式

設(shè)備名稱	南通華林科納-*（HF）供液系統(tǒng)
設(shè)備型號(hào)	-CDS-N2601
設(shè)計(jì)基準(zhǔn)	1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡(jiǎn)稱：CDS 2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi)：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房； 3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材，內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì)； 4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn)； 5. 過濾器：配有10" PFA材質(zhì)過濾器外殼； 6. 供液泵：每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵； 7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān)； 8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。
CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格	1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能：每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶（自動(dòng)切換）、配兩臺(tái)泵（一用一備）、帶過濾器；系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8"彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)； 2. 操作模式： CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，兼具自動(dòng)化與親和力。在自動(dòng)模式情形下可自行達(dá)成供酸之功能。在手動(dòng)模式及維修模式底下可針對(duì)單一自動(dòng)元件操作。 3. 設(shè)備結(jié)構(gòu)：（1）機(jī)架(Frame)：盤底SUS 方管50x50x1.5T 與機(jī)體以SUS 方管38x38x1.5T方管，全周焊架構(gòu)而成，具有調(diào)整腳座。（2）外觀：酸堿類系統(tǒng)的外觀以WPP 被覆。（3）箱體 (一) 箱體材質(zhì)型式供腐蝕性化學(xué)品用之材質(zhì)為WPP/ 透明PVC。 (二) 閥體材質(zhì)型式 .供腐蝕性化學(xué)品用之材質(zhì)為PFA或PTFE。 (三) 泄漏偵測(cè)型式采靜電容式或光電式，須能耐酸鹼之浸泡。 (四) 分流箱(VMB)必要設(shè)施說明箱體外部須清楚標(biāo)示其所輸送化學(xué)品之名稱與化學(xué)式。 4. 設(shè)備內(nèi)部空間規(guī)劃：（1）配管區(qū)：管路流程整齊清楚，操作方便，具有防止噴濺及承接并排放泄漏功能。（2）電控區(qū)：密封，可防止酸氣侵蝕電控元件。（3）取樣區(qū)：取樣方便具有防止酸液噴濺及排放泄漏功能。（4）桶槽區(qū)：方便更換桶槽，并有鏈條防止桶槽滑動(dòng)，有正壓及排氣功能，保持區(qū)域內(nèi)之潔凈度，下方有排放泄漏功能。 5. 電控系統(tǒng)︰（1）空間規(guī)劃︰與酸氣隔離的獨(dú)立空間并有N2 Purge 功能，從后方有寬大維修空間。（2）重要元件︰ PLC: OMRON GP: 10" OMRON Touch Empty Sensor & Level Sensor:采用靜電容近接開關(guān) 6. 附屬裝置: （1）排氣裝置︰每一個(gè)Unit 皆配備排氣裝置（2）每一個(gè)Unit 皆配備一組DIW GUN. 7. 安全保護(hù)裝置: （1）漏電斷電斷路保護(hù)裝置（2）機(jī)臺(tái)底部漏液檢知裝置（3）電控箱正壓裝置（4）E.M.O.裝置 8. 適用條件: 所有設(shè)備均應(yīng)滿足以下條件; 裝置場(chǎng)所: 室內(nèi)。標(biāo)高: 海平面1000 公尺以下。環(huán)境溫度: 30℃，0℃，平均30℃。相對(duì)濕度: 90 ﹪。
設(shè)備制造商	南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司；

*供液系統(tǒng)，提供的CDS自動(dòng)供液系統(tǒng)

關(guān)鍵詞：過濾器隔膜泵

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