超純水指將水中的導電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。近年來，隨著國家對環(huán)保的重視以及半導體行業(yè)的迫切發(fā)展，超純水這個概念逐漸被公眾所熟知。與普通凈水器用于凈化生活用水不同，超純水一般用于科學研究、工業(yè)制造等高品質(zhì)用水領域。超純水在半導體、核電、燃煤發(fā)電、制藥等行業(yè)有著極為重要的作用，特別是在半導體和核電領域的巨大應用潛力逐漸浮現(xiàn)。

半導體產(chǎn)業(yè)對超純水要求標準較高

在半導體生產(chǎn)中，超純水被用于晶圓沖洗、化學品稀釋、化學機械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等許多場合，超純水的品質(zhì)與半導體的良品率直接相關。隨著半導體元器件尺寸縮小與精細度上升，超純水水質(zhì)的技術要求不斷提升，在超純水的生產(chǎn)過程中，只要微粒子、電阻率、TOC以及氣泡中一個指標出現(xiàn)略微差異，就會使半導體元器件生產(chǎn)的合格率下降。半導體超純水水質(zhì)的參考標準目前由幾個國際組織和團體開發(fā)和頒布：國際半導體設備及材料協(xié)、國際半導體技術線路圖、美國材料與試驗協(xié)會。

超純水制備工藝復雜、難度高

超純水一般用于科學研究、工業(yè)制造等高品質(zhì)用水領域。前者是通過PP棉、顆粒活性炭、精密壓縮活性炭、反滲透膜/超濾膜、后置活性炭這五級濾芯的過濾，濾除細菌、病毒、重金屬離子等有害物質(zhì)，制得達到生飲標準的飲用水，屬于分子級過濾。后者則是一般工藝很難達到的程度，需要將微濾技術、超濾技術、反滲透技術、EDI技術、離子交換技術中的兩種及以上的技術，在各級濾芯、控制元件、增壓泵、紫外燈等的共同作用下，制得符合實驗要求的超純水，屬于離子級過濾，有些超純水機還有軟水器、微濾膜、UV紫外消解儀等可供選配。