在工業(yè)真空應(yīng)用領(lǐng)域，通斷式（On-Off）真空控制器以其出色的成本效益和操作簡(jiǎn)便性，成為真空干燥、浸漬、脫泡等工藝的常見選擇。然而，其固有的工作模式也帶來(lái)了一個(gè)經(jīng)典的技術(shù)挑戰(zhàn)：會(huì)出現(xiàn)壓力過(guò)沖。

一、癥結(jié)所在

為何通斷控制難以穩(wěn)定？

通斷式控制的邏輯簡(jiǎn)潔而明確，其工作原理如下：

1.監(jiān)測(cè)：壓力傳感器實(shí)時(shí)讀取腔體真空度。

2.比較：控制器將讀取值與用戶設(shè)定值進(jìn)行比較。

3.執(zhí)行：當(dāng)壓力>設(shè)定值 時(shí)，控制器接通電路，開始抽真空。當(dāng)壓力≤設(shè)定值 時(shí)，控制器斷開電路，停止抽真空。

問(wèn)題的核心矛盾在于：真空泵強(qiáng)大的“全速抽氣”能力與系統(tǒng)微小的“固有漏氣/放氣”速率之間，缺乏一個(gè)可調(diào)的“緩沖器”。

抽氣階段：泵以Z大抽速工作，其抽氣能力遠(yuǎn)大于系統(tǒng)緩慢的漏氣率，導(dǎo)致其輕易沖過(guò)設(shè)定點(diǎn)。

停止階段：真空抽氣管路切斷，但腔體材料放氣、微小泄漏等氣源仍在持續(xù)向系統(tǒng)內(nèi)導(dǎo)入氣體，導(dǎo)致壓力緩慢回升。

二、破解之道

1、物理阻尼——加裝真空緩沖罐

這是一個(gè)可針對(duì)性解決壓力過(guò)沖的的物理解決方案。

原理：在真空腔體與泵之間的管路上，串聯(lián)一個(gè)體積遠(yuǎn)大于腔體的真空罐（緩沖罐）。

作用：大幅增加系統(tǒng)的總?cè)莘e（氣容）。根據(jù)理想氣體定律，容積越大，相同的 gas load（氣體負(fù)載）引起的壓力變化越緩慢。這為通斷控制器提供了更長(zhǎng)的反應(yīng)時(shí)間，極大地平滑了壓力波動(dòng)，有效降低過(guò)沖。

適用場(chǎng)景：特別適用于小腔體配大泵的工況，是優(yōu)化壓力穩(wěn)定性的實(shí)用方案。

2、機(jī)械限流——安裝手動(dòng)節(jié)流閥

這是一個(gè)成本低且實(shí)用性強(qiáng)的簡(jiǎn)易改造方案。

原理：在泵的進(jìn)氣口前端，安裝一個(gè)手動(dòng)針閥或精密球閥。

作用：通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)閥門開度，機(jī)械性地限制抽氣通道的流導(dǎo)，從而人為地降低泵的有效抽速。

操作：

1.抽氣時(shí)，先將閥門調(diào)至全開狀態(tài)。

2.當(dāng)壓力接近目標(biāo)設(shè)定值時(shí)，緩慢關(guān)小閥門。

3.觀察壓力變化，將其調(diào)節(jié)穩(wěn)定在目標(biāo)值附近。

4.此時(shí)，通斷控制器會(huì)在被限制后的、更平緩的壓力曲線上進(jìn)行小范圍的啟?？刂?，過(guò)沖現(xiàn)象得到極大改善。

優(yōu)點(diǎn)：簡(jiǎn)單、便宜、立即生效。

缺點(diǎn)：需要根據(jù)不同的目標(biāo)壓力點(diǎn)手動(dòng)預(yù)調(diào)節(jié)，無(wú)法實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)智能控制。

適用場(chǎng)景：對(duì)真空度穩(wěn)定性有苛刻要求的應(yīng)用，如半導(dǎo)體工藝、光學(xué)鍍膜、高級(jí)別科研實(shí)驗(yàn)等。