在半導(dǎo)體芯片制造這一精密zhi 極的領(lǐng)域，環(huán)境濕度與氣體水分的控制堪稱“生命線”。芯片制造涉及光刻、蝕刻、薄膜沉積等數(shù)百道工序，每一環(huán)節(jié)都對(duì)濕度極為敏感——濕度超標(biāo)會(huì)導(dǎo)致芯片表面吸附水分，引發(fā)金屬遷移、絕緣層失效、器件性能漂移甚至wan 全報(bào)廢。英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀憑借其高精度、快速響應(yīng)與本質(zhì)安全特性，成為半導(dǎo)體制造中濕度監(jiān)測(cè)與控制的“核心衛(wèi)士”。

高精度，捕捉濕度“微變化”

半導(dǎo)體制造對(duì)濕度的控制要求近乎苛刻。例如，在光刻工序中，環(huán)境濕度需穩(wěn)定在±1%RH以內(nèi)，以避免光刻膠吸濕導(dǎo)致圖案變形；在化學(xué)氣相沉積（CVD）過(guò)程中，氣體水分含量需低于1ppm，否則會(huì)破壞薄膜的均勻性與致密性。英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀采用Shaw高電容-氧化鋁傳感器，測(cè)量精度達(dá)±3°C至±4°C露點(diǎn)，可精準(zhǔn)檢測(cè)到0.1%RH的濕度波動(dòng)，為工藝調(diào)整提供快速反饋，確保芯片制造全程處于“干燥保護(hù)”之下。

便攜靈活，適配潔凈室“動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)”

半導(dǎo)體潔凈室分為百級(jí)、千級(jí)等不同等級(jí)，區(qū)域功能差異大，濕度需求各異。例如，晶圓清洗區(qū)需高濕度防止靜電，而光刻區(qū)則需極低濕度避免膠層吸濕。英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀體積小巧（200mm×225mm×278mm），重量輕便，操作人員可攜帶至不同工序現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)；兩米的PTFE取樣軟管與快速接頭設(shè)計(jì)，支持在隔離器、手套箱等密閉空間內(nèi)無(wú)干擾取樣，實(shí)現(xiàn)“哪里需要測(cè)哪里”的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)模式。

本質(zhì)安全，滿足嚴(yán)苛環(huán)境要求

半導(dǎo)體制造中常使用易燃易爆的硅烷、磷烷等特種氣體，對(duì)檢測(cè)設(shè)備的防爆性能要求ji高。英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀通過(guò)ATEX與IECEx本質(zhì)安全認(rèn)證，可在Class 1 Division 1等zui 高危險(xiǎn)等級(jí)區(qū)域使用，避免靜電或電火花引發(fā)風(fēng)險(xiǎn)；其IP66防風(fēng)雨等級(jí)與316不銹鋼過(guò)濾器設(shè)計(jì)，可耐受潔凈室頻繁的化學(xué)清洗與消毒，確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

自動(dòng)校準(zhǔn)，保障數(shù)據(jù)“零偏差”

英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀的自動(dòng)校準(zhǔn)功能簡(jiǎn)化了維護(hù)流程。操作人員僅需將儀器暴露于已知濕度的標(biāo)準(zhǔn)氣體中，通過(guò)正面電位器即可完成校準(zhǔn)，無(wú)需返廠或?qū)Ｓ迷O(shè)備，校準(zhǔn)時(shí)間縮短至5分鐘以內(nèi)。這一特性確保了濕度監(jiān)測(cè)的連續(xù)性與準(zhǔn)確性，為芯片制造的“零que 陷”目標(biāo)提供堅(jiān)實(shí)支撐。

從晶圓加工到封裝測(cè)試，英國(guó)肖氏SADP便攜式露點(diǎn)儀以快速響應(yīng)、精細(xì)精度，守護(hù)著半導(dǎo)體制造的每一道“干燥關(guān)卡”，成為推動(dòng)芯片性能躍升的隱形力量。