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美國EdgeTech高精度冷鏡露點儀DewTech390:真空系統(tǒng)純凈度的“濕度守門人”

來源:英肖儀器儀表(上海)有限公司   2026年01月20日 15:44  


在航天器模擬真空艙、高能物理實驗裝置等gao端真空系統(tǒng)中,殘余氣體中的微量水分是影響系統(tǒng)純凈度與設(shè)備安全性的關(guān)鍵因素。水蒸氣不僅會污染真空環(huán)境,導(dǎo)致材料放氣、器件性能退化,還可能引發(fā)電弧放電、低溫冷凝等安全隱患。美國EdgeTech公司的高精度冷鏡露點儀美國EdgeTech高精度冷鏡露點儀DewTech390,憑借其低露點檢測能力與ji端環(huán)境適應(yīng)性,成為真空系統(tǒng)測試與維護中不ke或缺的“濕度守門人”。1763946099(1).png

一、真空系統(tǒng)中的濕度隱患:從污染到失效

真空系統(tǒng)的純凈度通常需控制在10?? Pa至10?12 Pa量級,而殘余氣體中的水分含量即使低至ppm(百萬分之一)級別,仍可能對系統(tǒng)造成顯著影響:

· 材料污染:水蒸氣會與金屬、陶瓷等材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成氫氣等雜質(zhì),加劇系統(tǒng)放氣;

· 器件損傷:在低溫環(huán)境下,水分冷凝可能導(dǎo)致電子器件短路或機械部件卡滯;

· 安全風(fēng)險:高電壓設(shè)備中,微量水分可能引發(fā)電弧放電,威脅人員與設(shè)備安全。
傳統(tǒng)濕度傳感器因量程有限、抗干擾能力弱,難以滿足真空系統(tǒng)對低露點檢測的需求。

二、美國EdgeTech高精度冷鏡露點儀DewTech390:專為真空環(huán)境設(shè)計的濕度利器

美國EdgeTech高精度冷鏡露點儀DewTech390采用三級珀耳帖冷卻冷凍鏡傳感器技術(shù),結(jié)合集成低溫制冷系統(tǒng),實現(xiàn)了露點/霜點溫度從-90°C至+20°C的寬范圍、高精度測量(±0.2°C,可選±0.1°C)。這一特性使其能夠精準捕捉真空系統(tǒng)中極微量的水分,即使在高真空(如10?? Pa)或ji 端溫度環(huán)境下,仍可穩(wěn)定輸出可靠數(shù)據(jù)。

三、核心應(yīng)用場景:從測試到運維的全流程覆蓋

1. 航天器模擬真空艙:在熱真空試驗中,美國EdgeTech高精度冷鏡露點儀DewTech390實時監(jiān)測艙內(nèi)殘余氣體濕度,驗證航天器材料在ji 端空間環(huán)境下的放氣特性,確保飛行器在軌運行的可靠性。

2. 粒子加速器與同步輻射裝置:在高真空管道中,美國EdgeTech高精度冷鏡露點儀DewTech390檢測微量水分,防止水蒸氣冷凝污染光束線或引發(fā)電弧放電,保障設(shè)備長期穩(wěn)定運行。

3. 半導(dǎo)體真空設(shè)備:在光刻機、蝕刻腔等工藝設(shè)備中,美國EdgeTech高精度冷鏡露點儀DewTech390監(jiān)測殘余氣體濕度,避免水分對晶圓表面造成污染,提升芯片良率。

四、技術(shù)優(yōu)勢:精準、穩(wěn)定、抗干擾

· 低露點檢測:支持-90°C露點測量,覆蓋真空系統(tǒng)ji端干燥環(huán)境需求;

· 抗污染設(shè)計:三級冷卻技術(shù)減少鏡面污染物影響,長期運行穩(wěn)定性優(yōu)于傳統(tǒng)傳感器;

· 智能數(shù)據(jù)輸出:提供模擬/串行輸出接口,可與PLC、SCADA等控制系統(tǒng)無縫集成,實現(xiàn)濕度數(shù)據(jù)的實時監(jiān)控與報警聯(lián)動。

在真空技術(shù)向更高純凈度、更ji端環(huán)境邁進的背景下,美國EdgeTech高精度冷鏡露點儀DewTech390以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動,為航天、能源、半導(dǎo)體等領(lǐng)域提供了從研發(fā)測試到日常運維的全流程濕度控制解決方案。它不僅是真空系統(tǒng)純凈度的“濕度守門人”,更是推動高duan裝備可靠性提升的關(guān)鍵工具。


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